球差校︾正扫描透射电子显微镜

专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。
最近，该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。

高分辨率扫描透射电子显★微镜成像

HAADF-STEM图像0.136 nm，FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)
HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)
明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)

高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍

元素面分布更迅速及时
低浓度元素检测

操作简化

自动图像对中功能

从样品制备到观察分析实现无缝连接

样品杆与日立聚焦离子束系统兼容

配有各种选购件可执行各种评估和分析操作

同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。
低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至最低)
高精度放大校准和测量*
实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)
采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*，具有自动倾斜图像获取功能。
ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)

操作流程

应用范围

项目		描述
图像分辨率	w/o球差校正仪	保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时)
	w球差校正仪	保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
	w球差校正仪	保证 0.136 nm(HAADF图像) 保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*)
放大倍数		100倍至 10,000,000倍
加速电压		200 kV, 120 kV *
成像信号		明场扫描透射电子显微镜：相衬图像(TE图像) 暗场扫描透射电子显微镜：原子序←数衬度图像(Z衬度图像) 二次电子图像(SE图像) 电子衍射* 特征X射线分▅析和面分布(能谱分析)* 电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)*
电子光学系统	电子源	肖特基发射电子源
	电子源	冷场致发射器*
	照明ζ透镜系统	2-段聚光镜镜头
	球差校正仪*	六极镜头设计
	扫描线圈	2-段式电磁感应线圈
	原子序数衬度收集角控制	投影镜设计
	电磁图像位移ω	±1 μm
试片镜台	样品移动	X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
试片镜台	样品倾斜	单轴-倾斜样品杆：±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*)
真空系统		3个离子泵，1个TMP
真空系统	极限真空	10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
图像显示	个人电脑／操作系统	PC/AT兼容, Windows? XP
	监视器	19-inch液晶显示器面板
	图像帧尺寸	640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
	扫描速度	快扫，慢扫(0.5至320秒/帧)
	自动数据』显示	记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间

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高分辨率扫描透射电子显★微镜成像

高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍

操作简化

从样品制备到观察分析实现无缝连接

配有各种选购件可执行各种评估和分析操作