球差场发射透射电子显○微镜

通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。
透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的具有扫描透射电子显微镜“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自动校正功能，像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。
对于包括高端用户在内的广泛用户，我们提供亚?级◥空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。

标配√日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）
搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
镜体和电源等的高稳定性●使机体的性能大幅度≡提升
观︾察像差校正SEM/STEM图像ζ　的同时观察原子分辨率SE图像
采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
支持高立体角EDX*的对称配々置（对称Dual SDD*）
采用全新构造的机体外壳盖↘
配备日立生产的高性能样品杆*

操作流程

应用范围

项目		内容
电子源		W（310）冷阴极场发射型
加速电压		200 kV、60 kV*1
图像分辨率	STEM	0.078 nm（ADF-STEM图像）
图像分辨率	TEM	0.102 nm（晶格像）
倍率	STEM	×20～×8,000,000
倍率	TEM	×100～×1,500,000
样品微动	样品台	偏心测角仪（Eucentric Goniometer）5轴样品台
	样品尺寸	3 mm Φ
	移动范围	X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
	样品倾斜	α＝±25°、β＝±35°（日立2轴倾斜☉样品杆*1）
像差校正器		配有日立照射系统球面像差校正器（标配）
图像显示	PC	Windows? 7 *2
	显示器	27英寸宽屏液晶显示器（机体控制显示器、第二「显示器*1）
	摄像头	标配伸缩式摄像头屏幕摄像头*1（用于荧光板观察）

机体尺寸/重量

项目	宽度×进深×高度（mm）	重量（kg）
镜体（含电子枪）	1,060×1,742×2,970	1,940
机体外壳盖	1,678×1,970×3,157	429
操作台	1,400×819×740	132
扩展操作台*1	580×819×740	53
FE槽	1,041×840×1,317	482
V0槽	398×630×1,046	164
控制电源	1,400×693×816	173
像差校▆正器电源	606×529×1,096	81
排气系统电源	913×663×1,790	378
转向系统电源	913×663×1,790	394
配重块	280×130×130	23
Gatan控制器13	576×648×1,173	150
冷却水控制装置	470×540×350	25
冷却水循环》装置13	970×970×1,064	95
干式泵*1	252×400×336	23
空压机*1	275×560×576	25

安装条件

项目		内容
室温		15～23℃（温度变化：0.2℃/h以内）
湿度		40～60% RH
电源	机体	单相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA 断路器容量╲ 50 A
电源	冷却水循环装置13	三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
接地		D种接地（100 Ω以下）
冷却水	水量	5.1～5.3 L/min 1系统、2.0～2.2 L/min 1系统（水压0.25 MPa）
冷却水	水温	16～18℃（变动：±0.1℃以内）
气体	SF6	99.9%以上、180 k～200 kPa
	干氮	99.9%以上、0～100 kPa
	压缩空气	600 k～800 kPa

购买之前，请设置预定安装处测量振动、磁场和噪声，如果超过◢容许值，请务必另行咨询』。
关于容许值№，请另行咨询。

备注
*1：选项。*2：Windows是在美国以及其他国家的注册的美国Microsoft Corp.商标。*3：规格、尺寸均根据厂家、型号和配ζ置的不同而会有所不同。

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机体尺寸/重量

安装条件